Mo掺杂VO2薄膜生长及器件制备
余韵
摘要(Abstract)：
<正>引言:Mo掺杂VO2薄膜,是现代化工生产探究的代表,它具有基础性、引导性、以及创新开发性特征,在现代电子产业、化工产业开发中,占有不可忽视的地位。基于此,本文结合化学气相沉积法,对Mo掺杂VO2薄膜生长过程进行探究,并归纳常见Mo掺杂VO2薄膜器件制备的方法应用要点,以达到充分发挥Mo掺杂VO2薄膜资源优势,为现代化工资源综合开发提供借鉴的目的。VO2薄膜,是一种热致变相变材料,它是由高温金红石、金属单斜
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作者(Author): 余韵
DOI: 10.19353/j.cnki.dzsj.2018.20.091