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<正> 吉时利联合 Stratosphere Solutions 研发65nm以下先进工艺特征分析技术美国吉时利(KeithIey)仪器公司日前宣布将与 Stratosphere Solu-tions 公司(Sunnyvale,CA)合作采用阵列 TEG(测试元件组)技术展开先进工艺研发和监测工作。由于 IC 制造商不断追求制造更小尺寸器件,因此65nm 以下水平上的

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