电子世界

2016, No.506(20) 53-55

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基于激光波数扫描干涉曲面轮廓度测量

王书雨;白玉磊;韩韬;周延周;

摘要(Abstract):

激光波数扫描干涉是一种新型激光干涉测量方法,具有稳定性好、测量精度高等优点。为了提高测量的精度,采用基于迈克尔逊干涉仪的波数扫描干涉的方法,并且对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。并且运用矩阵的特征值分解与最小二乘法相结合的方法(EDLSA)对数据进行解调。此方法是一种广义的傅里叶变换,采用盲信号处理方式,不需要一些先验知识;并且通过和2D傅里叶变换的方法进行比较,证明此方法是可行的;并且EDLSA的测量精度16.86nm,而傅里叶变换的测量精度18.17nm。

关键词(KeyWords): 激光波数扫描;傅里叶变换;特征值分解;最小二乘法

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王书雨;白玉磊;韩韬;周延周;

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DOI: 10.19353/j.cnki.dzsj.2016.20.025

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